Проявитель безметальный П-236КР-МФ
Проявитель позитивных фоторезистов безметальный П-236КР-МФд ( ПКР-236-МФ) изготовлен на основе тетраметил аммоний гидроксида (TMAH). Проявитель используется для проявления как отечественных, так и импортных позитивных фоторезистов с низким содержанием примесей металлов. Применение проявителя П-236КР-МФ критически важно при использовании плазмохимических процессов при травлении подложки.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ П-236КР-МФ
| No | Характеристики | Норма |
| 1 | Внешний вид | Прозрачная, бесцветная жидкость |
| 2 | Концентрация раствора, моль/литр | 0,259 |
| 3 | Уровень фильтрации, мкм | 0,2 |
| 4 | Суммарное содержание примесей металлов, ppm | Менее 1 |
Применение вещества/ смеси: Материал для производства полупроводниковых структур