Проявитель безметальный П-236КР-МФ

Проявитель  позитивных фоторезистов безметальный П-236КР-МФд ( ПКР-236-МФ)  изготовлен на основе тетраметил аммоний гидроксида (TMAH).  Проявитель  используется для проявления как отечественных, так и импортных позитивных фоторезистов с низким содержанием примесей металлов. Применение проявителя П-236КР-МФ критически важно при использовании плазмохимических процессов при травлении подложки.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ П-236КР-МФ

No Характеристики Норма
1 Внешний вид Прозрачная, бесцветная жидкость
2 Концентрация раствора, моль/литр 0,259
3 Уровень фильтрации, мкм 0,2
4 Суммарное содержание примесей металлов, ppm Менее 1

Применение вещества/ смеси:  Материал для производства полупроводниковых структур